稀土是指十七種稀土元素，包括鑭、鈰、釹等輕稀土，鋱、鏑等中稀土，鐿、鈧、釔等重稀土。以一種高純度的稀土元素為材料制備的可用高能粒子轟擊，使表面組分以原子形式濺射出來，沉積在基材表面形成薄膜的材料，即稀土金屬靶材。
　　稀土金屬靶材可以廣泛應(yīng)用在光學(xué)薄膜、磁性材料、傳感器等制造領(lǐng)域，在高技術(shù)產(chǎn)業(yè)中地位重要。稀土金屬靶材包括稀土金屬平面靶材、稀土金屬旋轉(zhuǎn)靶材兩大類。稀土金屬平面靶材通常為圓形、方形，使用時(shí)與背靶連接再進(jìn)行轟擊；稀土金屬旋轉(zhuǎn)靶材通常為圓筒形，使用時(shí)以一定的速度旋轉(zhuǎn)同時(shí)進(jìn)行轟擊。
　　稀土金屬靶材種類較多，以稀土金屬鈰靶材為例，鈰，化學(xué)符號(hào)Ce，銀白色金屬，有延展性，熔點(diǎn)795℃，可在空氣中燃燒，可與水發(fā)生反應(yīng)，可溶于酸，20℃時(shí)電阻率73×10^-8Ω•m，稀土金屬鈰靶材可以制成平面靶材、旋轉(zhuǎn)靶材應(yīng)用在半導(dǎo)體、平板顯示、光學(xué)元件等制造領(lǐng)域。
　　鐿，化學(xué)符號(hào)Yb，銀白色金屬，質(zhì)地軟，有延展性，熔點(diǎn)824℃，在空氣中可緩慢氧化，可與水發(fā)生反應(yīng)，可溶于稀酸、液氨。稀土金屬鐿靶材主要應(yīng)用在OLED屏幕制造中，可用于金屬陰極層制備方面，與鎂、銀陰極相比，能夠降低能耗、提高分辨率、提升色彩飽和度。
　　我國稀土金屬靶材開發(fā)與生產(chǎn)企業(yè)主要有包頭稀土研究院、中國有研科技集團(tuán)有限公司、湖南高創(chuàng)稀土新材料有限責(zé)任公司等。
　　早期，我國高純度稀土金屬鐿靶材需求主要依靠進(jìn)口，在我國平板顯示產(chǎn)業(yè)核心競爭力不斷增強(qiáng)、OLED產(chǎn)能規(guī)模不斷擴(kuò)大背景下，為避免被卡脖子，高純度稀土金屬鐿靶材必須實(shí)現(xiàn)自主生產(chǎn)。包頭稀土研究院開發(fā)出低成本、高效率的高純稀土金屬鐿靶材制備工藝，目前已經(jīng)建成國際領(lǐng)先的OLED用高純度金屬鐿靶材生產(chǎn)線，年產(chǎn)能約10噸。
　　釹鐵硼是人造永磁材料，磁性能好、機(jī)械性能好、能量密度高，在3C電子、新能源汽車等多個(gè)領(lǐng)域應(yīng)用價(jià)值大。中國有研科技集團(tuán)有限公司開發(fā)的高性能釹鐵硼用稀土金屬平面和旋轉(zhuǎn)靶材，可以制備高矯頑力、高剩磁的釹鐵硼永磁材料，能夠大幅降低高值重稀土鋱/鏑用量，已經(jīng)建成年產(chǎn)10萬片平面靶和1200支旋轉(zhuǎn)靶的生產(chǎn)線。
除此之外，湖南高創(chuàng)稀土新材料有限責(zé)任公司在湖南瀏陽建設(shè)了年產(chǎn)25噸高純稀土金屬靶材及2000噸高端稀土合金產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目，一期包括高純金屬鈧、稀土金屬靶材、高端稀土鎂合金三條生產(chǎn)線，計(jì)劃年產(chǎn)2噸金屬鈧、3噸鋁鈧合金靶、20噸鋱鏑靶。