角分辨光電子能譜儀（ARPES）是一種利用光電效應(yīng)直接探測固體材料電子結(jié)構(gòu)的儀器，其可直接獲取固體材料中電子能量、動(dòng)量分辨的電子結(jié)構(gòu)等信息。光電效應(yīng)是在光的照射下物體中發(fā)射電子的現(xiàn)象。
　　激發(fā)光源、半球能量分析器是角分辨光電子能譜儀的核心組成部分。根據(jù)激發(fā)光源不同，角分辨光電子能譜儀分為激光角分辨光電子能譜儀（Laser-ARPES）、同步輻射光源角分辨光電子能譜儀。半球能量分析器用于接收不同能量的光電子，并分析光電子的動(dòng)量信息。
　　角分辨光電子能譜儀是測量固體材料電子結(jié)構(gòu)最直接、最有效的技術(shù)手段之一，在拓?fù)浣^緣體、高溫超導(dǎo)、微米級二維材料、重費(fèi)米子材料、半金屬、異質(zhì)結(jié)材料等前沿材料研究、凝聚態(tài)物理實(shí)驗(yàn)中發(fā)揮著重要作用。
　　角分辨光電子能譜儀技術(shù)壁壘高，我國在該領(lǐng)域研發(fā)起步較晚，基礎(chǔ)薄弱，核心技術(shù)及部件長期依賴進(jìn)口。在國際市場上，角分辨光電子能譜儀供應(yīng)商主要包括德國Scienta Omicron公司、荷蘭Specs公司等。德國Scienta Omicron公司是半球能量分析器極限能量分辨率的保持者和持續(xù)推動(dòng)者，其DA30型半球能量分析器標(biāo)稱能量分辨率為1.8meV。
　　近幾年，在國家重點(diǎn)專項(xiàng)、利好政策扶持下，我國角分辨光電子能譜儀國產(chǎn)化趨勢顯現(xiàn)，布局企業(yè)及院校主要包括上�？萍即髮W(xué)、蘇州華萃儀器、費(fèi)勉儀器等。憑借高性價(jià)比、快速響應(yīng)等優(yōu)勢，國產(chǎn)角分辨光電子能譜儀市場占比在不斷提升。
　　蘇州華萃儀器實(shí)現(xiàn)了半球電子能量分析器、角分辨光電子能譜儀整機(jī)系統(tǒng)的全面國產(chǎn)化生產(chǎn)，其R200D分析器在能量分辨率上達(dá)到了德國Scienta Omicron公司的DA30型產(chǎn)品水平；費(fèi)勉儀器主導(dǎo)研發(fā)設(shè)計(jì)和生產(chǎn)集成的高精度角分辨光電子能譜儀系統(tǒng)是我國重大科技基礎(chǔ)設(shè)施“綜合極端條件實(shí)驗(yàn)裝置”的核心子系統(tǒng)之一，2025年2月該裝置順利通過國家驗(yàn)收。
   角分辨光電子能譜儀具有高精度、高時(shí)間分辨率、高空間分辨率等特點(diǎn)，適用于拓?fù)浣^緣體、高溫超導(dǎo)、重費(fèi)米子材料等前沿材料研究，近年來，我國對科學(xué)研究的重視度提升，角分辨光電子能譜儀市場需求隨之釋放。角分辨光電子能譜儀技術(shù)壁壘高，我國研發(fā)起步晚，但目前已實(shí)現(xiàn)其全面國產(chǎn)化生產(chǎn)，未來國產(chǎn)儀器市場占比有望進(jìn)一步提升。