X射線光電子能譜儀簡稱XPS，是一種表面分析儀器，用于表征材料表面元素及其化學(xué)狀態(tài)，其常與俄歇電子能譜技術(shù)（AES）配合使用。
　　X射線光電子能譜儀組成部分包括進(jìn)樣室、X射線激發(fā)源、超高真空系統(tǒng)、離子源、能量分析系統(tǒng)、數(shù)據(jù)采集和處理系統(tǒng)等。工作原理是利用X射線激發(fā)源（如Al Kα單色化X射線源）照射樣品表面，樣品表面的電子被激發(fā)出來，探測從樣品表面射出的光電子能量分布，通過測量逃逸光電子的動(dòng)能，來表征出樣品中的元素組成和化學(xué)態(tài)信息。
　　X射線光電子能譜儀具有輕元素敏感、價(jià)態(tài)敏感、表面敏感等特性和能量分辨率高、檢測效率高、分析速度快等優(yōu)勢，是新材料研發(fā)中不可或缺的表征儀器，在基礎(chǔ)科研、半導(dǎo)體、生物醫(yī)藥、能源電池、航空航天、納米器件、石油化工等領(lǐng)域有著廣泛應(yīng)用。
　　近年來，隨著以上領(lǐng)域的發(fā)展，X射線光電子能譜儀應(yīng)用需求不斷釋放，我國X射線光電子能譜儀需求方以各大高校院所為主。目前我國X射線光電子能譜儀市場規(guī)模約6.5億元，約占全球市場的11%。
　　X射線光電子能譜儀技術(shù)在不斷發(fā)展，產(chǎn)品類型分為通用型、定制型兩大類，其中定制型X射線光電子能譜儀又分為近常壓XPS（NAP-XPS）、ARPES（角分辨光電子能譜儀）、HAXPES（硬X射線光電子能譜儀）三種類型。
　　X射線光電子能譜儀技術(shù)壁壘高，市場長期由國外企業(yè)壟斷。國際X射線光電子能譜儀供應(yīng)商主要包括美國賽默飛世爾ThermoFisher、日本愛發(fā)科PHI、日本島津KRATOS、德國ScientaOmicron、德國SPECS等。
　　X射線光電子能譜儀是新材料研發(fā)中不可或缺的表征儀器，近年來，隨著地緣政治的沖突，國外對華出口審核趨緊，X射線光電子能譜儀國產(chǎn)替代需求釋放。2023年12月，國家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃專項(xiàng)“X射線光電子能譜分析儀”正式立項(xiàng)，在此背景下，X射線光電子能譜儀國產(chǎn)化研發(fā)熱情提升。
    我國X射線光電子能譜儀相關(guān)企業(yè)包括蘇州華萃儀器、深圳新凱來、上海費(fèi)勉儀器等。其中蘇州華萃儀器成立于2023年，由長三角先進(jìn)材料研究院孵化，目前其已實(shí)現(xiàn)半球電子能量分析器、微聚焦/雙陽極X射線源、ARPES整機(jī)系統(tǒng)的全面國產(chǎn)化生產(chǎn)。