MEMS熱導式氣敏傳感器是一種基于MEMS技術和熱導原理的氣體檢測設備，主要用于測量和識別特定氣體的存在和濃度。
　　氣敏傳感器技術路線多樣，根據工作原理不同，分為光學型、壓電型、電學型，其中電學型氣敏傳感器又分為半導體式、電化學式、熱導式、催化燃燒式。熱導式氣敏傳感器與MEMS的兼容性高，兩者結合可以制備出高精度、小體積、高靈敏度、低成本、長壽命、寬量程、易于大規(guī)模部署的MEMS熱導式氣敏傳感器。
　　MEMS熱導式氣敏傳感器可用于氫氣、甲烷、二氧化碳、硫化氫、六氟化硫、氦氣等氣體的監(jiān)測，在氫能、天然氣開采、環(huán)境監(jiān)測、化工、醫(yī)療、半導體制造、污水處理、電力設備、航天航空等領域具有廣闊應用空間。在氫能領域，MEMS熱導式氣敏傳感器可用于氫氣的安全監(jiān)測，保障氫能產業(yè)鏈安全運行。
　　在國際市場上，MEMS熱導式氣敏傳感器相關企業(yè)包括德國HLP公司、瑞士Neroxis公司、荷蘭Xensor公司等。MEMS熱導式氣敏傳感器基于MEMS技術制成，MEMS技術即微機械加工技術，我國MEMS技術研究起步較晚，MEMS傳感器精度、敏感度等性能還處在追趕國外水平的階段，高端MEMS傳感器進口依賴度較高，尤其是高端MEMS傳感器芯片。
　　我國擁有MEMS技術并將其應用在熱導式氣敏傳感器的企業(yè)較少，包括香港中華煤氣集團能源研究院氫能研發(fā)中心、廣東增敏科技有限公司（增敏科技）、蘇州芯鎂信電子科技有限公司等。高端MEMS氣敏傳感器市場長期被西方國家壟斷，國內企業(yè)面臨著技術封鎖和高昂的進口成本。
　　增敏科技自主研發(fā)的工業(yè)級第三代熱導式MEMS數字氣敏傳感器于2024年投產，性能居于國際同行業(yè)領先水平，填補了國內在該領域的空白。增敏科技生產中心設在廣州增城，搭建了年產100萬顆MEMS氣敏傳感器芯片的生產線，擴產后可達到500萬顆/年。
　　基于MEMS技術和熱導原理的MEMS熱導式氣敏傳感器具有體積小、精度高、量程寬、成本低等優(yōu)勢，在氫能、環(huán)保、半導體、石油化工等領域應用空間廣闊。MEMS熱導式氣敏傳感器技術壁壘較高，目前我國已實現其國產化生產供應，隨著相關技術發(fā)展、生產規(guī)模擴大，MEMS熱導式氣敏傳感器國產化率將進一步提升。