紫外納秒激光器，是產(chǎn)生脈沖激光，脈沖持續(xù)時(shí)間在納秒量級，輸出波長在紫外波段的激光器。
　　激光器是激光加工設(shè)備的核心裝置，直接決定激光束輸出質(zhì)量，進(jìn)而影響加工質(zhì)量。與紅外激光器、可見光激光器相比，紫外激光器直接破壞材料表面分子鍵使其分離，不會(huì)產(chǎn)生高熱量，材料不存在熔融、碳化等問題，能夠提高工件尺寸精度、表面質(zhì)量，在微加工、熱敏感材料加工領(lǐng)域具有明顯應(yīng)用優(yōu)勢。
　　納秒激光器具有能量密度高、脈沖寬度極短特征，可以滿足需要精確控制與高能量密度的激光加工場景需求。紫外納秒激光器集合紫外激光器與納秒激光器優(yōu)點(diǎn)，具有波長短、脈沖短、光束質(zhì)量高、聚焦光斑小、熱效應(yīng)小、可控性好、可滿足高功率需求等特點(diǎn)，在工業(yè)領(lǐng)域應(yīng)用潛力巨大，例如355nm紫外納秒激光器。
　　紫外納秒激光器可以對熱敏感材料、薄脆硬材料例如ITO薄膜、藍(lán)寶石、硅片等進(jìn)行鉆孔、切割、打標(biāo)等精細(xì)微加工，可以廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體、通信、顯示面板、消費(fèi)電子、新能源、精密儀器、高端機(jī)械等領(lǐng)域，滿足下游日益提高的精密加工需求。在我國由制造大國向制造強(qiáng)國方向轉(zhuǎn)變的背景下，紫外納秒激光器受關(guān)注度日益提升。
　　為滿足高端制造需求，2024年8月，我國工信部發(fā)布國家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃“增材制造與激光制造”重點(diǎn)專項(xiàng)2024年度項(xiàng)目申報(bào)指南，將高功率大能量紫外納秒激光器列入，考核指標(biāo)為納秒紫外激光器平均功率≥300W，脈沖寬度≤50ns，波長340~360nm，輸出功率穩(wěn)定性（8h）≤±1%等。
　　從研究成果來看，2024年12月，中國科學(xué)院理化技術(shù)研究所基于Nd:YAG激光三倍頻產(chǎn)生紫外激光的技術(shù)路線，突破系列關(guān)鍵技術(shù)，研制出百瓦級大能量納秒脈沖紫外固體激光器樣機(jī)，波長355nm、平均功率138.8W、脈沖寬度26.6ns、連續(xù)工作8h功率不穩(wěn)定度<1.8%。
　　從產(chǎn)業(yè)化來看，我國紫外納秒激光器布局企業(yè)主要有大族激光、銳科激光、納飛光電、中輝激光等。其中，大族激光推出“族光系列”紫外納秒激光器，波長355nm、重復(fù)頻率20-200kHz、功率3W/5W@30kHz、脈寬＜25ns@30kHz、脈沖穩(wěn)定性<3% rms@30kHz；銳科激光研發(fā)出“RFL-PUV系列”紫外納秒激光器。
　　目前來看，我國紫外納秒激光器相關(guān)研究成果與進(jìn)入市場產(chǎn)品性能與政府鼓勵(lì)突破的技術(shù)相比仍有差距，未來行業(yè)進(jìn)步空間大。