電子背散射衍射（EBSD）是一種在材料科學(xué)領(lǐng)域中用于表征晶體結(jié)構(gòu)的技術(shù)，通過分析從樣品表面反射回電子的衍射模式，精確測量晶體的取向、晶界取向差、鑒別物相及局部晶體完整性等關(guān)鍵信息。
　　電子背散射衍射是現(xiàn)階段較先進(jìn)的材料表征手段，相比于金相、XRD、投射等表征手段，具有微區(qū)物相鑒定精度高、數(shù)據(jù)信息量豐富、晶粒取向信息直觀、樣品制備簡單等優(yōu)勢。
　　近年來，電子背散射衍射技術(shù)在材料科學(xué)領(lǐng)域應(yīng)用價值愈發(fā)凸顯，其已廣泛用于金屬及合金、薄膜、半導(dǎo)體、礦物、陶瓷、納米晶等材料微觀組織研究中，在航空航天、核能、微電子、先進(jìn)制造、金屬加工、可再生能源開發(fā)、地質(zhì)研究等場景應(yīng)用越來越廣泛。隨著材料科學(xué)飛速發(fā)展，電子背散射衍射技術(shù)應(yīng)用前景將愈發(fā)明朗。
　　電子背散射衍射儀是基于電子背散射衍射技術(shù)的新型顯微分析設(shè)備，其通常安裝在掃描電子顯微鏡（SEM）或電子探針上。國外電子背散射衍射技術(shù)發(fā)展成熟，電子背散射衍射儀核心競爭力強(qiáng)，主要研制企業(yè)包括牛津儀器、布魯克、美國EDAX等。
　　早期我國電子背散射衍射技術(shù)完全依賴進(jìn)口，為打破國外壟斷、滿足應(yīng)用需求，我國加大了對具有自主知識產(chǎn)權(quán)的高精度電子背散射衍射儀研制力度，在國家重點研發(fā)計劃重點專項“高精度電子背散射衍射探測器研制”項目支持下，電子背散射衍射儀國產(chǎn)化進(jìn)程將不斷加快。
　　我國電子背散射衍射儀研制企業(yè)及單位包括浙江祺躍科技有限公司、中國科學(xué)院上海硅酸鹽研究所（上海硅酸鹽所）、中國科學(xué)院國家空間科學(xué)中心等。上海硅酸鹽所研制的高分辨電子背散射衍射儀項目是采用高效磷屏探測器設(shè)計方案，該方案結(jié)合了新型稀土摻雜熒光材料與高靈敏CMOS相機(jī)，從源頭提高了采集衍射花樣的信噪比，目前項目組已完成高分辨率電子背散射衍射儀樣機(jī)一臺，具備批量生產(chǎn)的能力。
　　作為先進(jìn)的材料表征手段，近年來，電子背散射衍射技術(shù)在材料科學(xué)領(lǐng)域應(yīng)用價值不斷凸顯，應(yīng)用范圍持續(xù)擴(kuò)展。我國電子背散射衍射技術(shù)及設(shè)備研制起步晚，目前與國際先進(jìn)水平相比仍存在一定差距，但在國家重點研發(fā)計劃專項扶持下，我國電子背散射衍射儀自主研制能力在不斷提升，國產(chǎn)化進(jìn)程將持續(xù)推進(jìn)。