碳化硅懸臂槳是基于碳化硅材料的懸臂槳。懸臂槳是一種用于將承載硅片的舟托移入和移出加熱爐的關鍵裝載部件。
　　碳化硅（SiC）是一種無機化合物半導體材料，由硅（Si）和碳（C）元素以1：1的比例構成。碳化硅具有高溫強度大、耐磨損性能好、熱穩(wěn)定性好、熱導率大、硬度高等特點，在汽車、信息電子、能源、機械化工、環(huán)境保護、空間望遠鏡等領域應用越來越廣泛。
　　反應燒結碳化硅（RBSC）又稱為結合碳化硅，具有燒結溫度低、生產成本低、致密化程度高等特點，特別適合懸臂槳、舟托、小舟、爐管等大尺寸復雜形狀結構件的制備�；�于反應燒結碳化硅的懸臂槳具有強度高、耐腐蝕、晶圓裝載量大、抗熱震穩(wěn)定性好、高溫環(huán)境使用不變形等特點。
　　碳化硅懸臂槳是晶圓裝載系統(tǒng)的關鍵部件，適用于機器人自動裝載和搬運系統(tǒng)，目前已在半導體、光伏等領域得到廣泛應用。在光伏領域，碳化硅懸臂槳承擔著TOPcon電池等光伏電池的低壓化學氣相沉積（LPCVD）、等離子化學氣相沉積（PECVD）、擴散等熱制程環(huán)節(jié)中硅片的承載、輸送工作。
　　近年來，隨著技術突破、需求釋放，我國碳化硅懸臂槳生產企業(yè)不斷增加，包括山東華美新材料科技股份有限公司、江蘇三責新材料科技股份有限公司、湖北朗馳新型材料有限公司、福賽特（唐山）新材料有限公司、濰坊中加碳化硅科技有限公司、山東鑫泓新材料有限公司等，市場競爭將日益加劇。
　　JB/T 13946-2020《碳化硅特種制品 反應燒結碳化硅 懸臂槳》為碳化硅懸臂槳行業(yè)現行標準，適用于工作溫度不高于1350℃的反應燒結碳化硅懸臂槳，其實施為碳化硅懸臂槳研發(fā)、生產及應用提供了技術支撐。
　　近年來，我國在碳化硅懸臂槳領域也取得了多項技術專利，如《一種碳化硅懸臂槳的制作方法》、《一種反應燒結碳化硅多孔懸臂槳》、《一種碳化硅懸臂槳熱檢裝置》等，這為碳化硅懸臂槳高質量發(fā)展奠定了基礎。
近年來，我國光伏行業(yè)實現從“跟跑”到“領跑”的跨越式發(fā)展，根據國家能源局數據顯示，截止至2024年11月底，全國累計太陽能發(fā)電裝機容量約8.2億千瓦，同比增長46.7%，2024年1-11月，太陽能發(fā)電裝機新增容量206.3GW。隨著光伏產業(yè)快速擴展，碳化硅懸臂槳市場空間將持續(xù)擴大。