MEMS壓力傳感器指利用微電子和微機(jī)械加工技術(shù)制造的微型壓力測量裝置。MEMS壓力傳感器能夠?qū)⑽锢韷毫�轉(zhuǎn)換為電信號，在汽車制造、人形機(jī)器人、醫(yī)療設(shè)備以及消費(fèi)電子等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。
MEMS壓力傳感器種類豐富，主要包括電容式壓力傳感器、壓阻式壓力傳感器、光纖壓力傳感器、諧振壓力傳感器、壓電式壓力傳感器等。不同類型MEMS壓力傳感器，其性能及應(yīng)用場景也有所不同。諧振壓力傳感器利用諧振元件感知壓力變化，具有抗電磁干擾能力強(qiáng)、穩(wěn)定性好、精度高等優(yōu)勢，在工業(yè)自動化、航空航天、科學(xué)研究等眾多領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。未來伴隨細(xì)分產(chǎn)品應(yīng)用需求增長，我國MEMS壓力傳感器行業(yè)景氣度將有所提升。
MEMS壓力傳感器主要應(yīng)用于汽車制造、人形機(jī)器人、醫(yī)療設(shè)備以及消費(fèi)電子領(lǐng)域。在汽車制造領(lǐng)域，MEMS壓力傳感器可用于汽車發(fā)動機(jī)控制系統(tǒng)中，能對汽車氣缸負(fù)壓、油壓以及吸氣壓等進(jìn)行監(jiān)測；在人形機(jī)器人領(lǐng)域，其具有小型化、靈敏度高等優(yōu)勢，可用于控制機(jī)器人手指；在醫(yī)療設(shè)備領(lǐng)域，其可用于血壓計(jì)、宮腔內(nèi)壓力監(jiān)測儀以及呼吸機(jī)中。
近年來，伴隨研究深入、技術(shù)進(jìn)步，MEMS壓力傳感器應(yīng)用范圍不斷擴(kuò)展，其市場規(guī)模也得到進(jìn)一步增長。2023年全球MEMS壓力傳感器市場規(guī)模達(dá)到近25億美元。預(yù)計(jì)未來一段時(shí)間，隨著技術(shù)進(jìn)步，MEMS壓力傳感器的生產(chǎn)成本將進(jìn)一步降低，高質(zhì)量產(chǎn)品市場占比將有所提升。到2029年，全球MEMS壓力傳感器市場規(guī)模有望突破35億美元。
全球MEMS壓力傳感器主要生產(chǎn)商包括德國博世、瑞士意法半導(dǎo)體、日本村田制作所、美國安費(fèi)諾、美國森薩塔科技等。在本土方面，我國MEMS壓力傳感器市場參與者包括敏芯股份、康斯特、安培龍以及華培動力等。敏芯股份生產(chǎn)的MEMS壓力傳感器已在汽車以及醫(yī)療設(shè)備中獲得應(yīng)用，據(jù)其企業(yè)年報(bào)顯示，2023年公司MEMS壓力傳感器庫存量達(dá)到1105萬顆。
MEMS壓力傳感器綜合性能優(yōu)良，在眾多領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。未來伴隨下游行業(yè)發(fā)展速度加快，我國MEMS壓力傳感器市場空間將不斷擴(kuò)展。目前，全球MEMS壓力傳感器市場主要集中于歐美以及日本等國。未來伴隨技術(shù)進(jìn)步，我國MEMS壓力傳感器市場國產(chǎn)化進(jìn)程有望加快。