全自由度磁懸浮泵是一種特殊的磁懸浮泵，采用磁懸浮技術(shù)實(shí)現(xiàn)在六個(gè)方位（即六自由度）上懸浮和旋轉(zhuǎn)，具有無接觸、無摩擦、無需潤(rùn)滑、精度高、可靠性高、負(fù)載高、噪音低、無振動(dòng)等特點(diǎn)。自由度（DOF）是指物體能夠?qū)ψ鴺?biāo)系進(jìn)行獨(dú)立運(yùn)動(dòng)的數(shù)目，一個(gè)簡(jiǎn)單的物體有六個(gè)自由度。
　　相比于傳統(tǒng)機(jī)械泵，全自由度磁懸浮泵消除了因接觸、摩擦產(chǎn)生的磨損和能量損耗問題，同時(shí)全自由度磁懸浮泵也可根據(jù)工作狀態(tài)實(shí)時(shí)調(diào)整位置，工作穩(wěn)定性、可靠性更高。全自由度磁懸浮泵適用于潔凈超高真空環(huán)境中，在半導(dǎo)體、生物醫(yī)藥、醫(yī)療器械、新能源、航天航空等領(lǐng)域應(yīng)用空間廣闊。
   在半導(dǎo)體領(lǐng)域，全自由度磁懸浮泵可用于濕制程清洗、電鍍、化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）、濕法刻蝕等環(huán)節(jié)的化學(xué)試劑和拋光液傳送；在生物醫(yī)藥領(lǐng)域，全自由度磁懸浮泵可用于輸送血液、脂肪乳劑、化學(xué)藥液等流體。
　　多自由度是磁懸浮泵技術(shù)設(shè)計(jì)難點(diǎn)，由于技術(shù)研發(fā)難度大，全自由度磁懸浮泵應(yīng)用受到一定限制。長(zhǎng)期以來，全自由度磁懸浮泵技術(shù)由瑞士企業(yè)所壟斷，尤其是用于超純凈強(qiáng)腐蝕應(yīng)用環(huán)境的磁懸浮泵，我國(guó)市場(chǎng)需求依賴進(jìn)口，全自由度磁懸浮泵國(guó)產(chǎn)替代需求迫切。
　　近年來，槃實(shí)科技、眾杰來同、中科科儀、南京工業(yè)職業(yè)技術(shù)大學(xué)等企業(yè)和院校加大了對(duì)高性能磁懸浮泵的研究力度，并取得了重要突破。如南京工業(yè)職業(yè)技術(shù)大學(xué)團(tuán)隊(duì)研發(fā)出了主要用于半導(dǎo)體領(lǐng)域超純凈強(qiáng)腐蝕應(yīng)用環(huán)境的“全自由度磁懸浮離心式流體泵”，攻克了半導(dǎo)體領(lǐng)域核心關(guān)鍵部件“卡脖子”難題。
　　相較于進(jìn)口產(chǎn)品，國(guó)產(chǎn)全自由度磁懸浮泵采購(gòu)費(fèi)用低、供貨周期短。憑借其優(yōu)勢(shì)，“全自由度磁懸浮離心式流體泵”受到了國(guó)內(nèi)企業(yè)的青睞，目前該產(chǎn)品已進(jìn)入量產(chǎn)銷售階段，累計(jì)銷售千余套。
   全自由度磁懸浮泵技術(shù)研發(fā)難度大，要實(shí)現(xiàn)其全自由度懸浮和旋轉(zhuǎn)，需攻克轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡檢測(cè)、懸浮旋轉(zhuǎn)解耦設(shè)計(jì)及控制算法等一系列技術(shù)難題。目前我國(guó)已打破國(guó)外技術(shù)壟斷，國(guó)產(chǎn)全自由度磁懸浮泵將憑借高性價(jià)比、短供貨周期等優(yōu)勢(shì)搶占更多市場(chǎng)。