離子泵，是電子顯微鏡（電鏡，EM）真空系統(tǒng)中用來形成超高環(huán)境真空度的重要裝置。無論是掃描電子顯微鏡（掃描電鏡，SEM）還是透射電子顯微鏡（透射電鏡，TEM），都需要配置真空系統(tǒng)，將電子槍、探測器、樣品等全部置于高真空環(huán)境中進行工作。
　　電子顯微鏡工作時，如果真空度不足，首先電子槍燈絲極易燒斷或者壽命縮短；其次空氣分子在電子束照射下會發(fā)生散射，導致電子束照射樣品概率降低，并且會影響分析結果真實性；再者探測器接收信號的效率也會下降。因此，真空系統(tǒng)是電子顯微鏡不可或缺的組成部分。
　　電子顯微鏡真空環(huán)境形成與維持需要利用多臺真空泵，常規(guī)電鏡一般采用機械泵、油擴散泵，前者作為前級泵使用，后者在前者工作完成后再啟動，二者配合，真空度可達到10-4Pa。高端電子顯微鏡具有超高分辨率，為滿足分辨率要求，真空度必須達到1E-10mbar量級的超高真空，此時需要采用離子泵。
　　離子泵性能高低主要受兩大因素影響，一是真空壓力，是否具有強大抽真空能力，以獲得超高真空環(huán)境；二是振動水平，是否振動極小，否則會影響電子束定位精度。此外，工作性能穩(wěn)定性也是離子泵品質優(yōu)劣的重要參考因素。
　　在全球范圍內，安捷倫（Agilen）是最具代表性的離子泵研發(fā)生產商，其收購的瓦里安（Varian）于20世紀50年代后期開發(fā)了全球首臺濺射離子泵。目前，安捷倫可以提供多種類型的離子泵產品，例如鈦升華復合離子泵、非蒸散型吸氣劑復合離子泵等，能夠滿足不同場景應用需求。
　　在國家政策支持下，近年來我國電子顯微鏡行業(yè)發(fā)展迅速，掃描電鏡、透射電鏡、掃描透射電鏡、場發(fā)射電鏡以及相關核心關鍵零部件具有自主研制實力，對電子顯微鏡真空度要求已經達到10-7Pa及以上。在此背景下，我國必須實現(xiàn)離子泵自主研發(fā)生產。
2023年度國家重點研發(fā)計劃“基礎科研條件與重大科學儀器設備研發(fā)”重點專項中提出，開發(fā)電子顯微鏡專用低漏磁離子泵，突破高穩(wěn)定性、低電磁干擾、低漏電流等關鍵技術，實現(xiàn)在場發(fā)射掃描電子顯微鏡、場發(fā)射透射電子顯微鏡等儀器中的應用。這將推動我國電鏡離子泵行業(yè)研制實力不斷提升。