質(zhì)量流量控制器簡稱MFC，是一種可以測量質(zhì)量流量及控制氣體質(zhì)量流量的裝置。MFC組成結(jié)構(gòu)包括信號處理和運(yùn)算模塊、傳感器模塊、控制模塊等，硬件和軟件算法是其核心難點(diǎn)，具體包括信號處理算法、處理模塊電路設(shè)計等方面。
　　根據(jù)檢測原理不同，MFC可分為熱式、壓差式、轉(zhuǎn)子式、科里奧利式等，其中熱式MFC、壓差式MFC為主流MFC，尤其是熱式MFC。熱式MFC具有使用方便、價格便宜、流體范圍廣等優(yōu)勢，但測量精度較低，在光伏、面板等泛半導(dǎo)體領(lǐng)域中應(yīng)用居多。在精度要求高的半導(dǎo)體刻蝕、實(shí)驗(yàn)室研究等場景，以壓差式MFC應(yīng)用居多，壓差式MFC具有響應(yīng)速度快、測量精度高、測試重復(fù)性好、壓損小等特點(diǎn)。
　　近年來，為適應(yīng)更微小氣流的檢測和控制，與微電子機(jī)械系統(tǒng)（MEMS）結(jié)合的新型MFC也逐漸涌現(xiàn)出來�；�于MEMS的MFC可分為熱損失型、熱溫差型、熱脈沖型三大類，其中熱溫差型MFC是目前研究熱點(diǎn)。
　　MFC是現(xiàn)代工業(yè)和實(shí)驗(yàn)室中不可缺少的儀器，應(yīng)用領(lǐng)域廣泛。近年來，受下游半導(dǎo)體、光伏、生物醫(yī)藥等領(lǐng)域驅(qū)動，我國MFC市場規(guī)模不斷擴(kuò)大，2023年我國半導(dǎo)體用MFC市場規(guī)模達(dá)20億元以上，預(yù)計2024-2028年，我國半導(dǎo)體用MFC市場將以4.0%以上的年均復(fù)合增長率增長。
　　MFC技術(shù)壁壘高，在國際市場上，美國布魯克斯（Brooks）、美國MKS、日本株式會社堀場制作所（HORIBA）等企業(yè)占據(jù)MFC市場大部分份額，此外MFC相關(guān)供應(yīng)商還包括德國寶得（Burket）、日本富士金株式會社（Fujikin）、瑞士Serrien等企業(yè)。
　　國內(nèi)MFC市場參與者包括北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司（七星電子）、陜西易度智能科技有限公司（易度智能）、青島芯笙微納電子科技有限公司（青島芯笙）、九未實(shí)業(yè)上海有限公司等。近年來，隨著技術(shù)進(jìn)步，我國企業(yè)在MFC領(lǐng)域接連取得突破，如易度智能的MFC已順利通過CPA認(rèn)證、歐洲CE認(rèn)證。
　　目前熱式MFC是最主流的MFC產(chǎn)品，但其測量精度不及壓差式MFC，市場份額呈下降趨勢，壓差式MFC是未來發(fā)展趨勢。我國MFC國產(chǎn)化率低，尤其是半導(dǎo)體用MFC，市場需求幾乎全部依賴進(jìn)口，在中美貿(mào)易戰(zhàn)不斷加劇背景下，我國企業(yè)亟需加快半導(dǎo)體用MFC國產(chǎn)化進(jìn)程。