激光干涉儀是以激光波長為測量基準(zhǔn)的一種高精度測量。激光頭是激光干涉儀的核心部分，其主要由激光器、光電二極管、滑動單元、反射鏡等組成，其中激光器用于產(chǎn)生激光束，激光束具有良好的單色性和相干性。
　　激光干涉儀類型多樣，常用類型包括法布里-珀羅干涉儀、邁克爾遜干涉儀、雅各比干涉儀、菲索干涉儀等。激光干涉儀是基于激光的干涉效應(yīng)進行測量和分析，具有測量精度高、抗干擾能力強、速度快、分辨率高等特點，廣泛應(yīng)用在科學(xué)研究、半導(dǎo)體制造、精密測量、光學(xué)元件加工等領(lǐng)域。
　　根據(jù)技術(shù)特點不同，激光干涉儀分為增量式激光干涉儀、絕對式激光干涉儀，其中增量式激光干涉儀又分為單頻激光干涉儀、雙頻激光干涉儀。單頻激光干涉儀的激光器發(fā)出單一頻率的激光束，雙頻激光干涉儀的激光器可發(fā)出兩個頻率的激光束。
　　激光干涉儀所用激光器以HeNe激光器（氦氖激光器）為主，我國HeNe激光器供應(yīng)商有北京鐳測科技有限公司（鐳測科技）、江西連勝科技股份有限公司等，其中鐳測科技的“可伐-玻璃組裝式”結(jié)構(gòu)的HeNe激光器，結(jié)束了HeNe激光器靠玻璃吹制的歷史。
　　在納米制造時代下，激光干涉儀應(yīng)用空間廣闊。預(yù)計未來五年，全球激光干涉儀市場將以7.0%以上的年均復(fù)合增長率增長，并將于2029年達到4.6億美元的市場規(guī)模。
　　在全球范圍內(nèi)，歐美地區(qū)占據(jù)激光干涉儀市場主要份額，尤其是北美地區(qū)。整體來看，激光干涉儀企業(yè)包括美國ZYGO公司、美國QED Technologies、美國Keysight公司、英國Renishaw plc、德國ZEISS Group、荷蘭阿斯麥（ASML）等。
　　激光干涉儀的自主化研制，對促進我國高端裝備國產(chǎn)化、智能化發(fā)展具有重要意義。隨著技術(shù)突破，國內(nèi)激光干涉儀市場也呈現(xiàn)出百花齊放的態(tài)勢，相關(guān)企業(yè)包括鐳測科技、蘇州慧利儀器有限責(zé)任公司、大連科德數(shù)控股份有限公司、陜西鉉光未來電子科技有限公司、上海拍頻光電科技有限公司等。
    激光干涉儀是國家長度計量溯源體系中的標(biāo)準(zhǔn)儀器，在工業(yè)母機、光刻機、坐標(biāo)測量機、位移傳感器、水準(zhǔn)標(biāo)尺檢定裝置、大長度校準(zhǔn)裝置等精密儀器的直線度、平行度、平整度指標(biāo)檢測中應(yīng)用廣泛。在納米制造時代下，精密測量需求旺盛，激光干涉儀應(yīng)用空間廣闊。