電子級(jí)氟化氫，又稱電子級(jí)氫氟酸，是一種高純度氟化氫。電子級(jí)氟化氫作為電子化學(xué)品，具備極高腐蝕性，在半導(dǎo)體制造、光伏發(fā)電、顯示面板等領(lǐng)域應(yīng)用較多。按照用途不同，電子級(jí)氟化氫可分為UPSSS、UPSS、UPS、UP以及EL五個(gè)級(jí)別。
   提純?yōu)殡娮蛹?jí)氟化氫制備關(guān)鍵環(huán)節(jié)，減壓蒸餾法、精餾法、氣體吸收法、亞沸蒸餾法等為其主要提純方法。亞沸蒸餾法指先將無(wú)水氟化氫置于緩沖槽中，經(jīng)初級(jí)過(guò)濾、低溫蒸發(fā)、提純等流程制得成品，該法需對(duì)溫度以及原材料用量進(jìn)行嚴(yán)格控制，在實(shí)驗(yàn)室制備過(guò)程中應(yīng)用較多；氣體吸收法具有運(yùn)行成本低、操作流程簡(jiǎn)單等優(yōu)勢(shì)，可用于批量生產(chǎn)電子級(jí)氟化氫。
   從細(xì)分產(chǎn)品來(lái)看，UPSSS級(jí)別電子級(jí)氟化氫的金屬雜質(zhì)含量不到10ppt，已達(dá)到由國(guó)際SEMI標(biāo)準(zhǔn)化組織制定的濕電子化學(xué)品純凈度最高標(biāo)準(zhǔn)（SEMIG5），為電子級(jí)氟化氫市場(chǎng)新興產(chǎn)品。目前，我國(guó)UPSSS級(jí)別電子級(jí)氟化氫主要用于12寸晶圓刻蝕過(guò)程中，未來(lái)隨著大尺寸晶圓出貨量不斷增長(zhǎng)，其市場(chǎng)需求將日益旺盛。
   從應(yīng)用領(lǐng)域來(lái)看，電子級(jí)氟化氫主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、光伏發(fā)電、顯示面板等領(lǐng)域。在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，電子級(jí)氟化氫可用于刻蝕硅基板上的二氧化硅層，還可用于晶體管以及其他電子元器件制造過(guò)程中；在光伏發(fā)電領(lǐng)域，其可用于光伏電池片的清洗制絨環(huán)節(jié)；在顯示面板領(lǐng)域，其可用于液晶顯示面板的清洗和刻蝕工序中。在應(yīng)用需求帶動(dòng)下，我國(guó)電子級(jí)氟化氫市場(chǎng)規(guī)模不斷增長(zhǎng)，2023年達(dá)到近90億元。
  我國(guó)已有多家企業(yè)具備電子級(jí)氟化氫批量生產(chǎn)能力，主要包括中欣氟材、多氟多、錦洋高新材料、巨化股份、晶瑞化學(xué)、福多邦等。多氟多為我國(guó)電子級(jí)氟化氫龍頭企業(yè)，具備UPSSS級(jí)別產(chǎn)品供應(yīng)能力。據(jù)多氟多公司公告顯示，2023年公司電子級(jí)氟化氫產(chǎn)能達(dá)到6萬(wàn)噸。
 電子級(jí)氟化氫作為濕電子化學(xué)品，在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域擁有廣闊應(yīng)用前景。未來(lái)隨著市場(chǎng)需求逐漸釋放，其行業(yè)發(fā)展速度有望加快。目前，我國(guó)電子級(jí)氟化氫生產(chǎn)企業(yè)眾多，未來(lái)伴隨國(guó)家政策支持以及技術(shù)成熟度提升，我國(guó)高品質(zhì)電子級(jí)氟化氫產(chǎn)能將不斷擴(kuò)張，產(chǎn)量將進(jìn)一步增長(zhǎng)。