晶圓傳片機，又稱晶圓搬運設備、晶圓傳輸系統(tǒng)，指在不同半導體制造工藝之間安全、高效地傳輸晶圓的設備。晶圓傳片機可用于處理各種尺寸晶圓，具備傳輸精確度高、自動化程度高、工作效率高、清潔度高、適應性好等優(yōu)勢。
   晶圓傳片機通常由晶圓抓手、機械臂、控制系統(tǒng)、預對準器、空氣過濾器、晶圓裝載裝置等組件構成。晶圓抓手主要用于固定和夾持晶圓，能夠保證運輸穩(wěn)定性；晶圓裝載裝置位于晶圓外部，對于晶圓傳輸潔凈度起到重要作用。晶圓傳片機技術壁壘較高，我國具備其組件規(guī)�；�生產能力的企業(yè)數(shù)量極少，這將為行業(yè)發(fā)展帶來一定挑戰(zhàn)。
   按照機構及工作方式不同，晶圓傳片機可分為回轉型晶圓傳片機以及直線型晶圓傳片機兩種類型�；剞D型晶圓傳片機采用雙臂機械手設計，在傳輸準確性、穩(wěn)定性、潔凈度以及速度方面存在優(yōu)勢；直線型晶圓傳片機屬于傳統(tǒng)晶圓傳片設備，采用單臂機械手設計，在完成傳輸工作的同時，還能對晶圓缺口位置進行檢測。
   晶圓傳片機能夠傳輸各種尺寸晶圓，在晶圓下線、傳片、翻片、倒片、出廠等環(huán)節(jié)應用廣泛。近年來，伴隨技術成熟度提升以及應用需求增長，大尺寸晶圓市場占比不斷提高。2023年我國晶圓月均產能達到近660萬片，其中12英寸晶圓占比達到近六成。未來伴隨人工智能、物聯(lián)網、汽車電子等高新技術產業(yè)發(fā)展速度加快，我國大尺寸晶圓市場需求將日益旺盛，這將為晶圓傳片機行業(yè)發(fā)展提供有利條件。
   我國晶圓傳片機主要生產商包括北京京儀自動化裝備技術股份有限公司、東方晶源微電子科技（北京）股份有限公司、深圳中科飛測科技股份有限公司等。京儀裝備專注于半導體設備的研發(fā)、生產及銷售，為我國晶圓傳片機代表企業(yè)。據(jù)京儀裝備企業(yè)年報顯示，2023年公司晶圓傳片設備庫存量達到71臺。
   受益于大尺寸晶圓產能擴張，我國晶圓傳片應用需求日益旺盛，行業(yè)發(fā)展空間不斷擴展。但目前，受技術壁壘高等因素限制，我國國產晶圓傳片機市場占比較低。未來伴隨本土企業(yè)持續(xù)發(fā)力以及技術進步，我國晶圓傳片機行業(yè)景氣度有望提升。