光發(fā)射電子顯微鏡（PEEM）又稱(chēng)光發(fā)射電鏡、光電子顯微鏡，是一種電子顯微成像設(shè)備，主要利用發(fā)射X射線或紫外光，激發(fā)物質(zhì)表面并探測(cè)其表面原子釋放的電子成像。
　　光發(fā)射電子顯微鏡通常由探測(cè)器、電子槍系統(tǒng)、電源、樣品系統(tǒng)、照明系統(tǒng)等部分組成，其中探測(cè)器是光發(fā)射電子顯微鏡的核心探測(cè)設(shè)備。光發(fā)射電子顯微鏡可配合氘燈、氦燈、X射線源、電子束、離子束、同步輻射等多種激發(fā)源使用�；�于X射線源的光發(fā)射電子顯微鏡（XPEEM）主要有兩種表面測(cè)繪方法，一種是通過(guò)使用具有可變X射線光子能量的吸收邊來(lái)實(shí)現(xiàn)，一種是通過(guò)分析具有固定X射線光子能量發(fā)射光電子的動(dòng)能來(lái)實(shí)現(xiàn)。
　　光發(fā)射電子顯微鏡具有功能強(qiáng)大、成像速度快、空間/時(shí)間分辨率高、動(dòng)態(tài)成像等特點(diǎn)，可實(shí)時(shí)探測(cè)氣/固界面反應(yīng)、材料生長(zhǎng)過(guò)程中樣品表面的功函數(shù)、幾何結(jié)構(gòu)、電子結(jié)構(gòu)等信息，在生命科學(xué)、材料科學(xué)、薄膜生長(zhǎng)、化學(xué)反應(yīng)、多相催化等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。
　　我國(guó)光發(fā)射電子顯微鏡相關(guān)研究單位有中國(guó)科學(xué)院蘇州納米所、北京大學(xué)、中國(guó)科學(xué)院西安光學(xué)精密機(jī)械研究所、中國(guó)科學(xué)院大連化物所等。2019年大連化物所承擔(dān)的“基于可調(diào)諧深紫外激光光源的近常壓光發(fā)射電子顯微鏡（AP-PEEM）的研制”項(xiàng)目通過(guò)中科院條件保障與財(cái)務(wù)局主持的現(xiàn)場(chǎng)技術(shù)測(cè)試驗(yàn)收。
　　近年來(lái)，得益于科學(xué)研究深入，電子顯微鏡市場(chǎng)規(guī)模逐年攀升，2023年全球市場(chǎng)達(dá)28億美元左右。電子顯微鏡市場(chǎng)發(fā)展?jié)摿�巨大，但長(zhǎng)期以來(lái)，高端電子顯微鏡市場(chǎng)由日本、美國(guó)等企業(yè)壟斷，如日本電子株式會(huì)社（JEOL）、美國(guó)賽默飛世爾科技、日本日立等。我國(guó)高端電子顯微鏡國(guó)產(chǎn)化率低，光發(fā)射電子顯微鏡市場(chǎng)還存在較大提升空間。
   光發(fā)射電子顯微鏡應(yīng)用場(chǎng)景廣泛，是實(shí)驗(yàn)室研究各種材料結(jié)構(gòu)與性能的關(guān)鍵儀器之一，我國(guó)光發(fā)射電子顯微鏡相關(guān)企業(yè)有北京匯德信科技有限公司、科睿設(shè)備有限公司等。近年來(lái)，隨著研究深入，以及新材料/新技術(shù)的結(jié)合應(yīng)用，國(guó)產(chǎn)光發(fā)射電子顯微鏡性能也實(shí)現(xiàn)大幅提升。