自動(dòng)物料搬運(yùn)（AMHS）是指在軟件系統(tǒng)的控制和調(diào)度下，按照生產(chǎn)系統(tǒng)的指令，通過物料搬運(yùn)設(shè)備，實(shí)現(xiàn)物料在生產(chǎn)線工序間的自動(dòng)搬運(yùn)。AMHS系統(tǒng)包括軟件和硬件兩部分，其中軟件控制系統(tǒng)是AMHS系統(tǒng)的核心。AMHS硬件主要由存儲(chǔ)設(shè)備、傳送設(shè)備、凈化設(shè)備等組成。
　　AMHS系統(tǒng)是半導(dǎo)體制造的核心設(shè)備，其可替代人工進(jìn)行物料搬運(yùn)，降低搬運(yùn)過程中的振動(dòng)，提升晶圓大規(guī)模量產(chǎn)效率。AMHS系統(tǒng)在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛，此外在面板、太陽能、光電顯示器件等泛半導(dǎo)體領(lǐng)域應(yīng)用也日益擴(kuò)大。
　　目前AMHS系統(tǒng)已經(jīng)歷了第一代分離式全自動(dòng)化系統(tǒng)、第二代一體式全自動(dòng)化系統(tǒng)及第三代智能化AMHS系統(tǒng)的發(fā)展，第三代AMHS系統(tǒng)具有智能、大規(guī)模、隨機(jī)性、實(shí)時(shí)性、動(dòng)態(tài)負(fù)載平衡等特點(diǎn)。AMHS系統(tǒng)包括RGV有軌小車、OHT天車、PGV人員推車、OHT小車、AMR移動(dòng)機(jī)器人等。
　　2023年，全球AMHS系統(tǒng)市場規(guī)模約300億美元，預(yù)計(jì)2024-2028年，全球AMHS系統(tǒng)市場將以6.0%左右的年均復(fù)合增長率增長。AMHS系統(tǒng)分為地面方案和天車方案，8寸晶圓廠多采用地面方案，12寸晶圓廠通常采用天車方案，即OHT高架起重運(yùn)輸車、OHS頭頂運(yùn)輸車。
　　目前半導(dǎo)體用AMHS系統(tǒng)市場主要由國外企業(yè)占據(jù)主導(dǎo)，包括日本大福、日本村田機(jī)械、韓國SEMES等，其中日本大福是全球AMHS系統(tǒng)市場龍頭。半導(dǎo)體用AMHS系統(tǒng)性能影響著晶圓整體產(chǎn)線的運(yùn)營，出于謹(jǐn)慎原因，晶圓廠不會(huì)輕易更換AMHS系統(tǒng)廠商，因此新興國產(chǎn)AMHS系統(tǒng)企業(yè)進(jìn)入該領(lǐng)域存在極高的門檻。
　　隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向東轉(zhuǎn)移，我國已成為全球半導(dǎo)體制造中心，半導(dǎo)體用AMHS系統(tǒng)國產(chǎn)替代需求隨之釋放。近年來，得益于技術(shù)進(jìn)步，我國進(jìn)入AMHS系統(tǒng)市場的企業(yè)不斷增加，包括友上智能、愛斯達(dá)克、捷螺系統(tǒng)、迦智科技、成川科技、芯運(yùn)智能等，AMHS系統(tǒng)市場競爭日益加劇。
AMHS系統(tǒng)行業(yè)存在一定的進(jìn)入壁壘，日本企業(yè)在全球市場上處于領(lǐng)先地位。我國是半導(dǎo)體制造大國，隨著外部政治環(huán)境的變化，AMHS系統(tǒng)國產(chǎn)替代需求釋放，本土AMHS系統(tǒng)企業(yè)迎來了發(fā)展機(jī)遇。目前我國AMHS系統(tǒng)市場布局企業(yè)較多，市場競爭激烈，未來低成本、高效率、高性能將成為AMHS系統(tǒng)企業(yè)開發(fā)的重要方向。